真空--以其特殊的環境，作為獨立技術已發展為近代邊緣學科之一。

一切尖端科技發展幾乎都離不開真空技術，如原子能制造、宇宙空間技術、微電子技術、納米技術、真空冶金等......涉及化學工業、醫藥工業、制鹽、食品、制冷工業等等各個領域、應用面極為廣泛。

一個真空設備，經過相當長時間的抽氣之后仍然達不到預期的真空度，可能是由于以下三個主要原因引起的，真空測量、真空獲得和真空檢漏。

真空測量是真空設備眼睛，測量儀表使用好壞直接反映設備真空運行狀態。真空獲得是真空設備基礎，真空獲得設備性能好壞直接影響真空設備極限真空度。真空檢漏是保證真空設備正常運行好壞重要手段，換句話說：真空檢漏是真空獲得的保證。

以上三種因素中任何一個要素出問題時，真空設備真空獲得和維持都變得十分困難。要解決這個矛盾，首先判斷出起主導作用的是什么因素，找到問題的所在，從而采取相應的措施加以解決。

常用進口真空泵的應用特點：

(1)旋片真空泵：又稱機械真空泵屬于低真空泵類。它具有從大氣直接排氣的特性，既可以單獨使用，也可作為高真空泵或超高真空泵的前級泵。

旋片泵的工作原理：是基于變容作用，用油來保持運動部件之間密封，靠機械的方法來密封的容積，容積周期性增大、縮小，從而達到排氣的目的。所以旋片泵極限真空度下降，噪聲大，卡死等現象，與油的質量和機械轉動有關。

(2)油擴散泵：油擴散泵是目前生產中常用的高真空泵，被廣泛用于真空電子器件的排氣車、真空冶煉、真空熱處理、真空鍍膜與真空焊接等設備中。它的主要特點是在高真空下。對各種氣體都有很高的抽速，使用維護都很方便，無機械運動，不易損壞，但不足之處不能單獨使用，必須有前級泵方可工作。

油擴散泵是一種蒸氣流泵，其工作原理利用蒸流的作用來將低密度氣體壓縮為較高密度使其達到機械泵能夠作用氣體壓強范圍被抽走。由于油分子量是空氣分子量15～20倍，油分子能比空氣大一個數量級，泵油在加熱情況形成每秒200m 定向運動的蒸氣流是油擴散泵關鍵。

由此看來，若要擴散泵正常工作：

a．擴散泵在加熱時必須有足夠大的蒸氣壓，而在冷卻后要有足夠低的蒸氣壓。

b．一定要有前級泵才能工作，因只有油蒸氣流密度遠大于空氣密度時才能形成高速氣流。

c．要有足夠的加熱功率，使油鍋內油迅速蒸發，通過噴嘴形成定向射流。

d．要有足夠的冷卻能力，使油蒸氣碰到泵壁時能很快地冷凝為液體返回油鍋，否則冷卻不夠產生反擴散，降低真空度。

(3)分子泵：渦輪分子泵是靠高速轉子攜代氣體分子獲得超高真空的一種機械式真空泵，工作壓力范圍為10-1～10-8pa，它具有抽速較大，抽速范圍很寬的特點，分子泵適用于要求清潔的高真空和超高真空的設備上使用，但它不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵、由于分子泵屬于分子動能泵在大氣壓下啟動分子泵、分子密度過大、泵工作要發熱損壞。

現在真空設備的應用領域愈來愈廣，如何處理各種復雜問題，多年來真空技術專家——好凱德真空科技一直在思考，努力做這方面的工作。

真空設備出現故障，我們的經驗是不要急于下結論，不要急于拆卸調設備、應認真分析故障現象，先用真空儀表大概判斷出設備狀態。然后對真空泵單獨測試和整個真空機組進行檢測，在確保真空獲得無問題情況下。進行真空檢漏，檢漏根據問題論述原則，選檢漏儀與檢漏方式。先進行靜態升壓試驗，判斷漏氣和放氣。然后進行分段與整體檢漏，找出漏點，并確定其漏率大小。

根據進口真空泵檢修方案，理論和實踐相結合，我們對一些真空冶金爐、真空熱處理爐、真空鍍膜機、真空釬焊爐、和各種真空校準檢測裝置進行實踐，成功解決設備故障，取得良好成果。