利用質(zhì)譜計(jì)的模擬掃描模式(或棒掃描)在儀器的工作質(zhì)量范圍內(nèi)，選擇適當(dāng)?shù)膮?shù)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行全譜掃描，記錄系統(tǒng)殘余氣體的全譜圖。一般掃描高真空系統(tǒng)全譜的質(zhì)量范圍選擇1u～100u就夠了。小型質(zhì)譜計(jì)可以選擇1u～50u。

在質(zhì)譜圖上確定譜峰質(zhì)量數(shù)可用兩種方法。最簡單的方法是計(jì)算機(jī)控制的四極質(zhì)譜計(jì)給出的譜圖，可以在質(zhì)量數(shù)坐標(biāo)軸直接讀出對(duì)應(yīng)峰的質(zhì)量數(shù)。而對(duì)于沒有采用計(jì)算機(jī)控制的儀器，記錄儀縱軸為峰高(離子流)，橫軸為走紙的長度，當(dāng)記錄儀走紙速度一走時(shí)，可以認(rèn)為橫軸為時(shí)間軸。四極質(zhì)譜計(jì)為線性掃描，因此可在橫軸上，根據(jù)峰間紙的距離計(jì)算出對(duì)應(yīng)峰的質(zhì)量數(shù)。

真空系統(tǒng)簡單的殘余氣體可利用離子判別表，根據(jù)峰的質(zhì)量數(shù)，直接判定該峰對(duì)應(yīng)的氣體種類。再利用真空系統(tǒng)常見的殘余氣體的碎片圖形，對(duì)系統(tǒng)的組分作較詳細(xì)的分析。可以利用下面幾條規(guī)律來幫助識(shí)別真空系統(tǒng)殘余氣體譜：

①存在碳?xì)浠衔?油蒸氣)污染的真空系統(tǒng)，會(huì)成組出現(xiàn)碳?xì)浠衔镆唤M峰，而且有明顯的特征峰，如質(zhì)量數(shù)39、41、43 -組峰和55、57 -組峰;

②沒有碳?xì)浠衔?油蒸氣)污染的真空系統(tǒng)的殘余氣體成分的質(zhì)量數(shù)一般低于44;在無油的真空系統(tǒng)中，惰性氣體為主要成分，如質(zhì)譜峰為2(H2)、40(Ar)和44(C02);

③有漏氣的真空系統(tǒng)，可以看到明顯的氧峰，質(zhì)量數(shù)為32：

④可根據(jù)碎片圖形區(qū)別系統(tǒng)中的N2和CO(質(zhì)量數(shù)均為28)，質(zhì)量數(shù)為14的峰為N2的碎片，而00的碎片峰的質(zhì)量數(shù)為12：

⑤未經(jīng)烘烤或烘烤不徹底的真空系統(tǒng)，水為系統(tǒng)的主要成分，質(zhì)譜峰的質(zhì)量數(shù)為18、17和1：

⑥在無油的超高系統(tǒng)中，質(zhì)量數(shù)為16的甲烷成分出現(xiàn)的原因是由于碳、氫在質(zhì)譜計(jì)熱燈絲的表面作用下形成的;

⑦真空系統(tǒng)清洗劑殘留物如酒精酌基準(zhǔn)峰為質(zhì)量數(shù)31，丙酮為質(zhì)量數(shù)42。

好凱德真空科技提供的圖為油擴(kuò)散泵高真空系統(tǒng)的殘余氣體質(zhì)譜。系統(tǒng)壓力為2×10^-3Pa，質(zhì)譜計(jì)采用SJ X-4小型四極質(zhì)譜計(jì)，倍增器電壓為1800V，靜電計(jì)量程為10^ -7A。

由于SJX-4小型四極質(zhì)譜計(jì)沒有計(jì)算機(jī)控制，模擬峰采用記錄儀記錄，因此，應(yīng)利用四極質(zhì)譜計(jì)線性標(biāo)度的特點(diǎn)和對(duì)殘余氣體質(zhì)譜峰的基本了解，確定出每個(gè)峰的質(zhì)量數(shù)。根據(jù)質(zhì)譜峰的質(zhì)量可進(jìn)行如下分析：

①根據(jù)質(zhì)量數(shù)18，17和1的峰最大，可判定系統(tǒng)主要成分為H20。質(zhì)量數(shù)18為H20的分子峰，質(zhì)量數(shù)1，17為水的碎片峰，為離子OH+，H+。

②根據(jù)質(zhì)量數(shù)2，可判定系統(tǒng)主要成分為H2，該峰為氫的分子峰H2+。

③根據(jù)質(zhì)量數(shù)41，43和質(zhì)量數(shù)55，57，39峰可判定為油的裂解物的碎片峰。

④譜中質(zhì)量數(shù)28，32的很小峰存在，說明真空系統(tǒng)存在微漏。

⑤微量的清洗殘留物酒精(C2H60)的存在，在質(zhì)譜中有很少的質(zhì)量數(shù)為31，12峰。