羅茨真空泵的抽氣速率和極限壓力是羅茨泵的主要性能參數(shù),但它不是羅茨泵本身特有的性能參數(shù),而是羅茨泵和各種前級泵所組成的機組的性能參數(shù),不是羅茨泵本身特有的性能。真正能反映羅茨泵特征性能,而又與前級泵無關(guān)的性能參數(shù)是零流量壓縮比、最大允許壓差、漏率和噪聲。它們能真實反映羅茨泵的真空狀態(tài)、抽氣性能和運轉(zhuǎn)的可靠性、穩(wěn)定性。
其中:
零流量壓縮比K0:集中反映羅茨泵轉(zhuǎn)子、泵體、側(cè)蓋等核心部件制造精度與抽氣性能。
那什么是羅茨真空泵的零流量壓縮比呢?
零流量壓縮比是指關(guān)閉羅茨真空泵的進(jìn)氣管路后,在羅茨真空泵的入口氣體流量為0時,它的出口壓力與入口壓力的最大比值。

如果覺得不好理解,豪可德真空科技換一種更通俗的解釋。我們可以想象,當(dāng)羅茨真空泵的進(jìn)氣管路被關(guān)閉后,那它的入口就不會有新的氣體進(jìn)入。而原有的氣體被排出之后,如果不考慮其他因素,那理想條件下一定時間后,入口處就會成為絕對真空,壓力消失。但實際上這是明顯不可能的。因為羅茨真空泵因本身特點及生產(chǎn)工藝、設(shè)計等問題,返流、泄漏等因素不可避免。因此,羅茨真空泵的進(jìn)氣管路被關(guān)閉之后,在運行過程中,設(shè)備本身的泄漏與返流等會讓部分氣體返回到入口,并形成壓力。而羅茨真空泵的零流量壓縮比,實際上反映的正是泵本身的抽速與它的返流、泄漏量的一個關(guān)系比例,也就是抽氣效率。零流量壓縮比越大,代表泄漏返流越少;而壓縮比小則表示泄漏返流嚴(yán)重。
而羅茨真空泵的泄漏、返流等因素主要體現(xiàn)的則是真空泵廠家在型線設(shè)計、轉(zhuǎn)子間隙控制、生產(chǎn)裝配工藝等方面的實力水平。如優(yōu)秀的型線設(shè)計以及間隙控制可以極大改善間隙返流;而合適的轉(zhuǎn)子材料,可以減少熱膨脹對間隙的影響;平整的轉(zhuǎn)子表面可以減少有害的氣體吸附等等。所以說羅茨真空泵的零流量壓縮比,間接地展現(xiàn)了真空泵廠家的設(shè)計工藝等實力。因此在羅茨真空泵生產(chǎn)廠家多、品牌也多的市場環(huán)境下,選擇羅茨真空泵的過程中,除了抽速、極限壓力及壓差等參數(shù)外,它的零流量壓縮比亦是不可忽視的一個性能指標(biāo)。
羅茨泵零流量壓縮比K0與出口壓力PV 有關(guān)系。在較高的PV時,因間隙流導(dǎo)L處于黏滯流狀態(tài),流導(dǎo)L在這時有所增加,因而壓縮比K0在向高的PV方向上有所下降。在低的PV條件下,流導(dǎo)L處于分子流狀態(tài)基本上是定值,這時受轉(zhuǎn)子返流速率Sr的影響。K0在向低的PV方向上也是降低的,而在PV=1hPa附近K0有最大值出現(xiàn)。泵的尺寸增加使泵的幾何抽速Sth比L增加得快,因此大容量的羅茨泵的K0也有所增加。
所以:降低羅茨真空泵的間隙流導(dǎo)和轉(zhuǎn)子返流速率,不但可以提高最大零流量壓縮比,而且還能提高泵在各種出口壓力下的零流量壓縮比。
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